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  첨단 공정 수율, 생산성 향상 위한 신규 웨이퍼 생산 플랫폼 공개 미국 반도체 장비업체 어플라이드머티어리얼즈가 신규 웨이퍼 생산 플랫폼인 '비스타라( Vistara )'를 공개했다. 해당 플랫폼은 증착·식각 등 주요 반도체 공정을 단일 플랫폼 내에서 효율적으로 처리할 수 있는 것이 특징으로, 현재 주요 메모리 고객사들과의 평가를 거치고 있다. 지난 30일 어플라이드머티어리얼즈코리아(이하 어플라이드;  AMAT )는 경기 성남 소재의 본사에서 미디어 라운드테이블을 열고 비스타라 플랫폼에 대해 소개했다. 장대현 어플라이드 메모리 식각 기술 총괄이 비스타라 플랫폼 신기술 발표 미디어 라운드테이블에서 발표하는 모습(사진=장경윤 기자) 비스타라는 특정 공정을 수행하는 개별 장비들을 하나의 시스템으로 결합한 플랫폼이다. 어플라이드가 이 같은 플랫폼을 개발한 이유는 반도체 공정의 효율성 및 수율 향상에 있다. 기존 반도체 공정은 웨이퍼를 반도체 장비 내 챔버에 집어넣어 공정을 수행하고, 이를 다시 꺼내 다음 장비에 집어넣는 식으로 진행돼왔다. 이 과정에서 웨이퍼는 대기 환경 및 장비 내 챔버의 진공 환경에 반복적으로 노출된다. 반면 어플라이드의 비스타라 플랫폼은 여러 개의 챔버를 이어붙여, 진공 환경 내에서 연속적인 공정을 수행한다. 이를 통해 웨이퍼 내 결함이 발생할 확률을 낮추고, 웨이퍼가 이송되는 시간을 줄일 수 있다. 장비 크기를 줄일 수 있으므로 제조공장 내 에너지 및 생산 효율성을 높이는 데에도 용이하다. 장대현 어플라이드 메모리 식각 기술 총괄은 "현재 비스타라 플랫폼은 주요 메모리 고객사들과 평가를 긍정적으로 진행 중이고, 파운드리 분야로도 공급을 준비 중"이라며 "실제 고객사 공정에 양산 적용되는 시기는 구체화되지는 않지만 가까운 미래가 될 것"이라고 밝혔다. 어플라이드 비스타라 플랫폼(사진=어플라이드머티어리얼즈코리아) 어플라이드가 강조한 비스타라 플랫폼의 주요 특징은 유연성, 인텔리전스, 지속가능성 세